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              OPTM反射率測試常用解決方案

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              發布時間:2020-07-25 17:08  

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              為了確保膜厚儀的安全操作,必須注意以下幾點:  ·始終按照操作手冊的要求操作膜厚儀;  ·不要損壞安全互鎖系統的任何元件,例如微動開關等等;  ·不要對膜厚儀做任何改變。

               膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜,其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導薄膜等在工業生產和人類生活中的不斷應用,在工業生產的薄膜,其厚度是一個非常重要的參數,直接關系到該薄膜材料能否正常工作。

              膜厚儀直接的鍍膜操縱方法是石英晶體微量平衡法(QCM),此法可以直接驅動蒸發祥,通過PID控制循環驅動擋板,保持蒸發速率。只有將儀器與系統控制軟件相連接,它就可能節制全體的鍍膜進程。然而QCM的正確度是有限的,部分起因是由于它監控的是被鍍膜的質量而不是其光學厚度。


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