半導(dǎo)體氦檢漏設(shè)備行業(yè)專(zhuān)家在線為您服務(wù)【科創(chuàng)真空】

真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接，在真空箱門(mén)關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測(cè)、工件強(qiáng)度檢測(cè)、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過(guò)程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。3．壓力哀減法(壓差法)就是將被檢工作，利用壓縮機(jī)或壓縮空氣(一般1-3Mpa)連接進(jìn)一個(gè)壓力表，待充上氣后，密封(確保封頭不漏)，觀察壓力表24小時(shí)內(nèi)壓力降情況，如有漏則壓力降低，但不能判斷什么地方漏，漏多少。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關(guān)真空箱門(mén)-----真空箱抽真空，同時(shí)工件內(nèi)充高壓氮?dú)?----大漏及強(qiáng)度檢測(cè)；B1：若A1檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警，大漏工件序號(hào)顯示-----檢測(cè)程序中止；B2：若A1檢測(cè)通過(guò)，放掉氮?dú)?-----對(duì)工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測(cè)；C1：若B2檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警-----循環(huán)檢，小漏工件序號(hào)顯示------檢測(cè)程序中止；C2：若B2檢測(cè)通過(guò)，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開(kāi)門(mén)，檢測(cè)完成。

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氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

說(shuō)到氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進(jìn)口的檢漏儀專(zhuān)用的分子泵。美國(guó)AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設(shè)備的噪聲并提高氦氣檢漏設(shè)備的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設(shè)備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長(zhǎng)，靈敏度高。 獨(dú)特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應(yīng)功能。

氦氣檢漏設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示，實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化，操作更方便，簡(jiǎn)單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實(shí)現(xiàn)，實(shí)際使用效果突出。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也

就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小(相對(duì)分子質(zhì)量為4)，易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同-漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氮信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險(xiǎn)，另- -方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn):大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。