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              發布時間:2020-10-07 05:29  

                 無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。


                  無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。

                   每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。洗滌衣置放場所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內,正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。


                   空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。


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