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發布時間:2020-11-08 11:09  





流量控制器在高壓條件下如何使用?
質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。二、溫度影響用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫,溫度影響必須考慮。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。
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流量控制器
熱式質量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱,熱能隨流體一起流動,通過測量因流體流動而造成的熱量(溫度)變化來反映出流體的質量流量。
當流體成分確定時,流體的定壓比熱為已知常數。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。因此由上式可知,若保持加熱功率恒定,則測出溫差便可求出質量流量;若采用恒定溫差法,即保持兩點溫差不變,則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現,所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。
為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕,可采用非接觸式測量方法,即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部,而流體由薄壁管內部通過。而今,當再有液態氨進入到質量流量計或質量流量控制器內部時,只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。非接觸式測量方法,適用于小口徑管道的微小流量測量。當用于大流量測量時,可采用分流的方法,即僅測量分流部分流量,再求得總流量,以擴大量程范圍。
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流量控制器的特點
地定量控制流量
質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠,應該聯鎖動作時不動作,容易釀成事故,不該動作時亂動作,容易導致不應有的停車,造成損失。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領域得到廣泛應用。
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