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齒輪的熱處理變形與機械加工相關，機械加工會產生加工應力，受切削工藝不當、刀具用鈍等因素的影響，會造成更復雜的應力狀態，這種應力在熱處理過程中得以釋放，由于齒輪在高溫下的強度較低，釋放的應力會導致齒輪的塑形變形。

此外，齒輪不同的切齒方式會在表層形成不同的應力狀態，導致其變形傾向也不盡相同，因此必須采用合理的加工工藝，降低加工應力。當通過一些手段措施將齒輪的變形波動控制。

（1）適當降低淬火溫度。正如前面敘述過的淬火加熱溫度越高，殘留奧氏體量越大，因此選擇適當的淬火加熱溫度是減少模具縮小的重要措施。一般在保證模具技術要求的情況下，要考慮模具的綜合性能，適當降低模具的淬火加熱溫度。

（2）一些數據表明，Cr12MoV鋼模具淬火后，500oC回火較200oC回火的殘留奧氏體量少了一半，所以在保證模具技術要求的前提下，應適當提高回火溫度。生產實踐表明：Cr12MoV鋼模具500oC回火模具變形量小，而硬度降低不多（2~3HRC）。

真空熱處理加工技能的特色，真空熱處理加工是和可控氣氛齊頭并進的運用面很廣的無氧化熱處理技能，也是當前熱處理生產技能先進程度的首要標志之一。真空熱處理不僅能夠完成鋼件的無氧化、無脫碳，并且還能夠完成生產的零污染和工件的少畸變，因此，它還歸于清潔和生產技能范疇。現在，它已成為工模具生產中不行代替的先進技能。