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              發布時間:2020-10-29 07:31  








              由于高純石墨坩堝具有良好的熱導性和耐高溫性能,在高溫使用中,熱膨脹系數小,對急熱、急冷具有一定的抗應變能力,對酸堿性溶劑的抗腐蝕性能較強,具有良好的化學穩定性。高純石墨坩堝應用范圍十分廣泛,主要應用于熔煉各種銀、鋁、鉛、銅、鋅等有色金屬及中碳鋼和稀有金屬。高純石墨坩堝質量穩定,碳氈價格,使用壽命長,大幅度降低了燃耗,降低了人工勞動強度,提高了人工勞動強度,創造了更好的經濟效益。


              損壞速度又遭受滾動軸承材料、軸和滾動軸承表層生產加工狀況、荷載、速率及周邊物質等標準的危害。在干運行的狀況下,滾動軸承容許的PV值還立即遭受滾動軸承材料的危害,在高溫下容許PV的值務必比超低溫時要小得多。當滾動軸承浸在液體里或是是液體所飛濺的狀況下(濕運行),其磨擦和損壞可大幅度降低。因之液體可以協助逸散因磨擦而造成的發熱量,那樣就進一步提高高純石墨滾動軸承容許的PV值,在具體標準下濕運行容許的PV值將會較干運行時高于近千倍。


              起吊電極時,墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面,以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環后吊起,吊運電極要平穩,防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。

              將備用電極吊到待接電極上方,對準電極孔后慢慢落下;旋轉備用電極,使螺旋吊鉤與電極一起轉動下降;在兩支電極端面相距10-20mm時,再次用壓縮空氣清理電極兩個端面和接頭的部分;在完全下放電極時,不可過猛,否則因猛烈碰撞,會導致電極孔和接頭的螺紋受損。



              石墨舟推舟系統:石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應管內部后,石墨舟推舟機構將退出,自動門關上。載片舟是經特殊設計,在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調,再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關,所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統:即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。


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