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發布時間:2020-11-06 09:29  





PCVD的工藝裝置由沉積室、反應物輸送系統、放電電源、真空系統及檢測系統組成。氣源需用氣體凈化器除往水分和其它雜質,經調節裝置得到所需要的流量,再與源物質同時被送進沉積室,在一定溫度和等離子體等條件下,得到所需的產物,并沉積在工件或基片表面。所以,PCVD工藝既包括等離子體物理過程,又包括等離子體化學反應過程。
隨著市場和研究人員的要求,隨著基于傳統工藝的新系統的出現,新的涂料性能得到了發展。即使通過蒸發工藝獲得的沉積速率是理想的,但事實是,濺射沉積技術在質量和沉積速率方面取得了無疑的進步,響應了對此領域感興趣的行業和研究人員的需求,甚至用作中間層,用于通過化學氣相沉積(CVD)獲得的其他涂層。
CVD是另一種在真空下沉積的方法,并且是使待沉積材料中的揮發性化合物與其他氣體發生化學反應的過程,以產生沉積在基材上的非揮發性固體。
PVD是一種出色的真空鍍膜工藝,可改善耐磨性和耐腐蝕性。它對于功能性應用非常需要,例如工具,裝飾件,光學增強,模具,模具和刀片。這些只是各種各樣已經建立好的應用程序的幾個例子。
此技術中使用的設備維護成本低,并且對環境無害。PVD涂層的好處很多。如PVD可以提供真正獨特的優勢,從而增加產品的耐用性和價值。沉積技術在機加工過程中具有重要作用。
機加工工具可能是緊急的應用之一,需要一些特性,例如高溫下的硬度,高耐磨性,化學穩定性,韌性和剛度。此外,PVD還能夠生產具有優異附著力,均勻層,設計結構,漸變特性,可控形態,材料和特性的高度多樣性的涂層。