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              新余無塵室工程改造品牌企業(yè)「在線咨詢」

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              發(fā)布時間:2020-12-10 02:21  

                凈化工程噪聲控制有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式:

                (1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。

                (2)局部照明這是指為增加某一指1定地點(如工作點)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。

                (3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。半導(dǎo)體潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)──或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。



              凈化工程中空氣凈化處理方案:

                凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。

                空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高1效空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。


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