您好,歡迎來到易龍商務網!
【廣告】
發布時間:2020-07-22 20:58  
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(清潔急救網合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示)無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內進行,并以純水配合清潔溶劑,并經約0。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。
并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。潔凈工作臺:等級Class 1~100級。潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
無塵室內防止微粒子污染的基本原則:
不發生
在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策:
減少接觸剝離發塵的動作形態;
采用磨耗發塵小的材質;
采用發塵小的潤滑油;
機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。