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              發(fā)布時間:2020-08-04 13:30  






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              激光干涉儀的類型有哪些?

              您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎?

              1、單頻激光干涉儀

              從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。球桿儀是由儀感器、磁性杯、磁性中心架、球節(jié)、磁性工具杯、球桿傳遞器等組成。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。



              雙頻激光干涉儀

              雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。

              在激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。當(dāng)有其他不同角度、位置或不同長度的測針按照以上方法校驗后,有各擬合球中心點坐標(biāo)差別,就得出各個測頭之間的位置關(guān)系,三坐標(biāo)測量軟件自動生成測頭關(guān)系。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。


              球桿儀

              基本介紹“干涉測量法”是一種利用波的干涉現(xiàn)象(常見的波有光波,無線電波或聲波)進行測量的一種方法。測量可能涉及對波本身的某些特性以及與波相互作用的材料的測量。此外,“干涉測量法”用于描述通過光波研究位移變化的技術(shù)。校準(zhǔn)值比名義值小的原因:在了解測頭校準(zhǔn)的原理后,我們就很容易解釋測針校準(zhǔn)值比名義值小的原因了。在精密加工中廣泛采用這一位移干涉測量法來校準(zhǔn)和控制機械臺運動。


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