濟源硅碳球的成分常用指南 晟鑫丹冶金材料

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碳化硅作為合金材料的一種，我們在生產和發(fā)展方面，一直都比較重視，目前的加工方法相比之前也有了很大的改善。

碳化硅是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生產綠色碳化硅時需要加）等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。這種材料的實用范圍較為廣泛，同時成本較低，屬于經濟型材料的一種。我國工業(yè)生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種，均為六方晶體。

與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同，碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅單晶材料上。必須在導通型單晶襯底上額外生長高質量的外延材料，并在外延層上制造各類器件。目前，主要的外延技術是化學氣相沉積（CVD），通過臺階流的生長來實現一定厚度和摻雜的碳化硅外延材料。隨著碳化硅功率器件制造要求和耐壓等級的不斷提高，碳化硅外延材料不斷向低缺陷、厚外延方向發(fā)展。