高純供氣系統公司常用解決方案「多圖」

氣體管路控制系統作用

主要由氣源切換系統、管道系統、調壓系統、用氣點、監控及報警系統組成。對于一些易1燃易1爆氣體，如氫氣等，可能在設計和施工過程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

閥門是在流體系統中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統中控制部件，用來改變通路斷面和介質流動

方向，具有導流、截止、節流、止回、分流或溢流卸壓等功能。

氣體管路控制系統可以用于管理控制氣體供應，包括流量，壓力，開關等，同時帶有泄漏報警1燈功能，能夠有效保護用氣安全。

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特種氣體的應用

電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照國標要求，將所用全部氣體存放于儲氣間，并實現集中輸送，組成中央供氣系統。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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試驗室供氣需求

目前大多數試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續使用高純載氣和燃氣，因此試驗室的安全、連續、穩定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。以上是由艾明坷科技有限公司發表內容，如有需要，歡迎新老客戶蒞臨。

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。試驗室集中供氣系統的優點針對過去使用中存在的問題，現代試驗室對載氣的使用環境進行了改革，即“集中供氣系統”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。