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流量控制器

熱式質量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質量流量。

當流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現，所以實際應用較多。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。

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質量流量計工作原理

質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有-個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成-個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC 提供。

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質量流量控制器主要參數

質量流量精度： ±0.002×流量±零點漂移

密度測量精度： ±0.003g／cm3

密度測量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測量范圍： ±1°C

傳感器相關數據：

環境溫度： －40~60°C

介質溫度： －50~200°C

防爆類型： iBⅡBT3

關聯設備： 配套變送器

(3) 變送器相關數據：

工作溫度： 0~60°C

相對濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

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