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發(fā)布時間:2020-07-31 14:54  
業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為,混合固態(tài)激光雷達(dá)指用半導(dǎo)體“微動”器件(如MEMS掃描鏡)來代替宏觀機(jī)械式掃描器,在微觀尺度上實(shí)現(xiàn)雷達(dá)發(fā)射端的激光掃描方式。MEMS掃描鏡是一種硅基半導(dǎo)體元器件,屬于固態(tài)電子元件;但是MEMS掃描鏡并不“安分”,內(nèi)部集成了“可動”的微型鏡面;由此可見MEMS掃描鏡兼具“固態(tài)”和“運(yùn)動”兩種屬性,故稱為“混合固態(tài)”。