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發(fā)布時(shí)間:2020-10-30 11:54  





化學(xué)性質(zhì)
六氟化硫是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍。
化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚,可溶于氫yang化鉀。不與氫氧hua鈉、液氨及鹽酸起化學(xué)的反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對(duì)石英不起作用。250℃時(shí)與金屬Na反應(yīng),-64℃時(shí)在液氨中反應(yīng)。4、六氟化硫產(chǎn)品不純,出廠時(shí)含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時(shí),在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下,能促使其緩慢分解。
1、主要用于高壓開(kāi)關(guān)中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子jia速器及避雷器X射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好,對(duì)設(shè)備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對(duì)α-粒子有高度的停止能力,故在放i射化學(xué)中也有應(yīng)用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。在超高壓和特高壓斷路器中,SF6作為滅弧介質(zhì),已取代油,并已大量取代了壓縮空氣。
2、用作電子設(shè)備和雷達(dá)波導(dǎo)的氣體絕緣體。
高純六氟化硫的應(yīng)用
六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年,國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國(guó)內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,近年來(lái),各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。
該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí),還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來(lái)用量有明顯的提高。
據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng),總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右,
國(guó)內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右。目前采用第二種試驗(yàn)方法較為準(zhǔn)確,其實(shí)施程序是:抽真空檢驗(yàn)→SF6氣體→六氟化硫氣體泄漏檢驗(yàn)。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求,半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。
六氟化硫氣體泄漏檢測(cè)技術(shù)
SF6氣體泄漏檢測(cè)主要采用了電化學(xué)技術(shù)、電i擊穿技術(shù)和紅外光譜吸收技術(shù)。
1、電化學(xué)技術(shù):電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面,并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng),從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變,以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。
2、電i擊穿技術(shù):電i擊穿技術(shù)是從SF6氣體在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開(kāi)關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性,從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。
3、紅外光譜吸收技術(shù):紅外光譜吸收技術(shù)(又稱激光技術(shù))的原理是SF6作為溫室氣體,對(duì)特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。