高純供氣系統廠家的行業須知

實驗室供氣系統氣體管路

實驗室供氣管路系統工程主要是為試實驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩定的標準氣體，保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。閥門是在流體系統中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。按照國標要求，將所用全部氣體存放于儲氣間，并實現集中輸送，組成中央供氣系統。系統采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時能夠實現分段控制和在多拖一和多拖多時能夠實現切換控制；并能夠保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化，滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。

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電子特氣系統的維護

由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。此種供應方式最終會減少運輸費用，減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量，以及良好的氣瓶管理。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據氣體性質的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現壓力表回表的現象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發生器繼續抽，直到沒有吸附氣體釋放為止。⑥各種可燃氣體管道系統均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口，以便在可燃氣體供應系統使用前后或檢修動火前后對其系統進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質量。

以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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試驗室集中供氣系統的優點

針對過去使用中存在的問題，現代試驗室對載氣的使用環境進行了改革，即 “集中供氣系統”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。其優點主要有以下幾點：

1、首先解決氣瓶的放置問題。檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在最1佳工作狀態下能檢出的最1小漏率。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發生直接傷害。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據氣體性質分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯然后通過一個出口統一減壓后運送氣體至使用點。氦質譜檢漏儀隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發展和究善。因為氣瓶間是相對獨立的，整個氣路系統壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發生的危險縮小至氣瓶間內，可對人體及儀器的傷害可降到1低。

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氦質譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態下能檢出的1小漏率；

反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；

消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；

漏孔堵塞現象：指由于真空檢漏作業操作不當導致塵?；蛞后w堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。