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發布時間:2021-03-22 23:07  





PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業脈沖激光沉積供應商,我們為您帶來以下信息。
主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
系統組成:
主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。
脈沖激光沉積的優點
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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;
3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制;
4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性;
5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。
脈沖激光沉積系統特點及優勢
可根據客戶需求定制產品,靈活性高,并提供專業的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續, 交貨期短,性價比高;
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常規沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統特點及優勢:
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