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浙江美兆-凈化車間——寧波無塵車間報價

化車間，也可以稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產。那么凈化車間是由哪幾部分組呢？

風系統風系統流程圖

系統采用的是全新風空調箱 FFU 系統：

<1>全新風空調箱結構

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器

千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。 寧波無塵車間報價

控制系統(DDC)溫度:干盤管系統控制

濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。寧波無塵車間報價

水系統水系統流程圖

冰水系統分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12 度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17 度供給干盤管系統.一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤管:不結露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其露i點溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進入凈化車間,所以進干盤管的冰水溫度在12-14 度.寧波無塵車間報價

因此在凈化車間中用防塵材料及產品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(凈化車間)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。 寧波無塵車間報價

回風豎井中必須利用防煙風門切斷回風系統，防止被污染的空氣透過回風系統再循環進入其它的區劃中，此時位于凈化車間上方的外氣MA 補充系統仍提供新鮮空氣，維持空調系統仍打開的區劃能持續送風。排煙閘門的開啟與排煙風機的啟動可以手動或由偵煙器連動，偵煙器可用尋址的離子式偵煙器或是及早型偵煙器VESDA。 寧波無塵車間報價