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擴散硅壓阻傳感器的發展與現狀  

固態壓阻傳感器自 1967年美國的庫利特半導體公司首先為波音公司研制 , 成功用于風洞測試 , 1970年法國斯魯母貝格公司生產并用于協和式大型客機和阿波羅飛船中 , 國外將其首先用于航空和宇航等軍事工業中 , 由于其自身的優點十分引人注目 , 因此 , 近年來 , 美、 日、 德、 法、 英等許多儀器儀表制造廠紛紛研制生產。我國從七十年代初開始研究并取得了較好的成果 , 壓阻傳感器本身已經歷了從結構型到物性型至今天的智能型三個發展階段。  隨著科學技術 , 特別是微電子和計算機技術的發展 , 壓阻傳感器的靈敏度、 精度和可靠性及信息傳輸功能大大提高 , 從而擴大了人們對各種現象和過程的觀測范圍和控制范圍。  由于擴散硅壓阻傳感器具有廣泛的應用前景 , 因而壓阻傳感器的競爭也十分激烈。 元器件的品種增多 , 溫壓范圍已經拓展: 已有微壓、 表壓、 高壓、 絕壓、 差壓等力敏元件及其配套儀表問世。每年世界性固態壓力傳感器專利有幾十項。 潛在功能比較大 , 既可以代替人類五官感覺的功能 , 也能檢測人類不能感覺的信息。

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擴散硅傳感器的工作原理

擴散硅傳感器選型作為一種較高的性能的一次壓力測量產品，可以很方便地進行放大處理，裝配成標準信號輸出的設備，廣泛應用于石油、化工、冶金、電力、航空、汽車、HVAC等行業的過程控制。

被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與TBP-1擴散硅無腔壓力傳感器介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。

擴散硅壓力傳感器有什么特點 　　

1、適合制作小量程的傳感器 　　硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。 　　2、輸出靈敏度高 　　硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。 　　3、精度高 　　由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環節，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。 　　擴散硅壓力傳感器應用場合有很多，比如供熱、制冷、煤炭以及石油等領域，都會用到擴散硅壓力傳感器，它具有輸出靈敏度高等特點。