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表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生危險事故。

出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

氣缸間布置