遼寧正壓氦質譜真空檢漏儀公司常用指南「多圖」

氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。

氦質譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀。

    

真空壓力法氦質譜檢漏的優缺點

真空壓力法的優點是檢測靈敏度高，能實現任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態。

真空壓力法的缺點是檢漏系統復雜，需要根據被檢產品的容積和形狀設計真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏，或者采取特殊的結構設計將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測標準有GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。

氦質譜檢漏儀的日常保養與維護

1 內部的泄漏

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩定

1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀盡量應有可靠的接地。

3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝雍头蹓m污染造成的損壞。

4 設備的質譜室不能正常工作

質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度盡量在 10至 40之間使用。