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              發布時間:2020-12-30 19:00  






              方箱PECVD簡介

              該系統為單室薄膜太陽電池等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝研發設備,用來在硅片上沉積SiOx、SiNx、非晶硅、多晶硅、碳材料等薄膜,鍍膜樣品為156×156mm基片(并向下兼容)。

              設備概述:

              1.系統采用單室方箱式結構,手動前開門;

              2.真空室:尺寸為350mm×350×280mm;

              3.極限真空度:≤6.67x10-4 Pa (經烘烤除氣后,采用分子泵抽氣);

              系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣到5.0x10-3 Pa,35分鐘可達到

              (采用分子泵抽氣,分子泵不配,預留分子泵接口); 停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa(采用分子

              泵抽氣,分子泵不配,預留分子泵接口);

              4.采用樣品在下,噴淋頭在上噴淋式進氣方式;

              5.樣品加熱加熱溫度:300℃,溫控精度:±1°C,采用日本進口控溫表進行控溫;

              6.噴淋頭尺寸:200×200mm,噴淋頭與樣品之間電極間距20-80mm連續可調;

              7. 沉積工作真空:13-1300Pa;

              8.氣路設有勻氣系統,真空室內設有保證抽氣均勻性抽氣裝置;

              9.射頻電源:頻率 13.56MHz,功率500W,全自動匹配;

              10.SiH4、NH3、CO2、N2、H2、PH3、B2H6、七路氣體,共計使用7個質量流量控制器控制進氣。

              11. 系統設有尾氣處理系統(高溫裂解方式)。

              以上就是關于方箱PECVD鍍膜產品的相關內容介紹,如有需求,歡迎撥打圖片上的熱線電話或關注沈陽鵬程真空技術有限責任公司!



              化學氣相沉積法在金屬材料方面的使用

              以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供,今天我們來分享化學氣相沉積的相關內容,希望對同行業的朋友有所幫助!

              化學氣相沉積法生產幾種金屬薄膜

              金屬薄膜因其有著較好的高導電率、強催化活性以及極其穩定引起了研究者的興趣。ICP刻蝕機的結構想要了解更多ICP刻蝕機的相關內容,請及時關注沈陽鵬程真空技術有限責任公司網站。和生成金屬薄膜的其他方式相比,化學氣相沉積法有更多技術優勢,所以大多數制備金屬薄膜都會采用這種方式。沉積金屬薄膜用的沉積員物質種類比較廣泛,不過大多是金屬元素的鹵化物和有機化合物,比如COCl2、氯化碳酰鉑、氯化碳酰銥、DCPD化合物等等。

              Goto 團隊在金屬薄膜用作電極材料上做了大量的工作。3、主要用途:主要用來制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導體及金屬膜。他們所使用的襯底材料有藍寶石、石英玻璃以及氧化釔穩定化的二氧化鋯(YSZ)等等。在成沉積時往裝置中通入氧氣是為了消除掉原料因熱分解產生的碳,并制備出更有金屬光澤的金屬薄膜,如若不然則得到的就是銥碳簇膜,也就是納米等級被晶碳層所包裹的銥顆粒。沉積在YSZ 上面的銥碳簇膜有著較好的電性能和催化活性。在比較低的溫度下,銥碳簇膜的界面電導率能達到純銥或者純鉑的百倍以上。金屬和炭組成的簇膜是一種輸送多孔催化活性強的簇膜,在電極材料上的使用在未來將很有潛力。



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