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              真空鍍膜系統(tǒng)價(jià)格承諾守信「多圖」

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              發(fā)布時(shí)間:2020-08-14 16:35  






              薄膜均勻性概念

              1.厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。在刀具、模具等金屬切削加工工具方面在生活中,我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。

              2.化學(xué)組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。機(jī)械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。 具體因素也在下面給出。

              以上內(nèi)容由艾明坷為您提供,今天我們來分享的是薄膜均勻性概念的相關(guān)內(nèi)容,希望對(duì)您有所幫助!


              油擴(kuò)散泵在真空鍍膜機(jī)中的作用


              油擴(kuò)散泵:機(jī)械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候,實(shí)際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴(kuò)散泵。

              油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,抽速大等特點(diǎn)。機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號(hào)是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級(jí)泵和多級(jí)泵。

              擴(kuò)散泵底部?jī)?nèi)儲(chǔ)存有擴(kuò)散泵油,上部為進(jìn)氣口,右側(cè)旁下部為出氣口,在工作時(shí)出氣口由機(jī)械泵提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。

              當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。2、真空機(jī)組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:3、真空室內(nèi)太臟放氣。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的。

              由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量,向下飛去,由于射流具有高的流速(約200米/秒),高的蒸汽密度,且擴(kuò)散泵油具有高的分子量(300-500)故能有效的帶走氣體分子,因此在射流的界面內(nèi),氣體分子不可能長(zhǎng)期滯留,且在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差,正是因?yàn)檫@個(gè)濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,擴(kuò)散進(jìn)入射流中,被帶往出口處,在出口處再由機(jī)械泵抽走。我可是這樣認(rèn)為的,一個(gè)人連表面工作都作不來,那真的還有內(nèi)在、實(shí)在的工作嗎。

              擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素,因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,其化學(xué)特性要好。

              由于油擴(kuò)散泵是無法杜絕有返油的幾率,那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的100%純凈,特別是半導(dǎo)體行業(yè),所以就有“高真空冷凝泵+低真空機(jī)械泵”所組成的無油真空系統(tǒng),冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高,而且有效保證真空腔的清潔,保證產(chǎn)品的質(zhì)量(避免產(chǎn)品被污染、增強(qiáng)膜層與基板之間的附著力),但是其維護(hù)成本非常的高,造價(jià)昂貴,所以普及率沒有油擴(kuò)散泵廣泛。其實(shí)每一種設(shè)備都有自己的使用壽命,比如擴(kuò)散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規(guī)定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費(fèi),我覺得不浪費(fèi),從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的,老板最不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。

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              真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域

              1.在裝飾品方面

              隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。

              2.在刀具、模具等金屬切削加工工具方面

              在生活中,我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。

              (1)金黃色的,是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層,TiN是代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。

              (2)黑色的,是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。

              (3)鈷銅色的,是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。

              3.在建筑玻璃和汽車玻璃上

              建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。

              普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。

              隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求,而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補(bǔ)了普通玻璃在這一方面的不足。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。陽光控制膜可以滿足低緯度地區(qū)降低室內(nèi)溫度的要求;而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。

              在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃,這種工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。

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              真空鍍膜機(jī)的真空室設(shè)計(jì)方法

              真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

              真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對(duì)真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。

              使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空,因氣袋會(huì)緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會(huì)加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強(qiáng)度,保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,厚度需要足夠。

              焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,保證焊接之后的真空室不會(huì)產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu),提高焊接質(zhì)量,處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。

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