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發(fā)布時(shí)間:2020-12-11 07:06  





氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法
氦質(zhì)譜檢漏儀,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)介紹
靈敏度高,還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無(wú)毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)磁場(chǎng)的磁通密度一定時(shí),不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場(chǎng)中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場(chǎng)分析器中運(yùn)動(dòng)后就會(huì)彼此分開(kāi)。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對(duì)應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開(kāi)一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過(guò)狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測(cè)量?jī)x表指示出來(lái)。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來(lái),達(dá)到了檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀的構(gòu)成
氦質(zhì)譜儀電氣部分的核心是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量,其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分,操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。在氦質(zhì)譜儀檢漏技術(shù)中,根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu),尺寸要求和具體的檢漏條件,設(shè)置具有預(yù)抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、氣體分流、縮短反應(yīng)時(shí)間和清除時(shí)間、降低對(duì)靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統(tǒng),在某些條件下是非常必要的。
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