福建石墨零件設計廠家供應 東莞石金科技

1、受潮濕的石墨電極，使用前要烘干。

2、去除備用石墨電極孔上的泡沫塑料保護帽，檢查電極孔內螺紋是否完整。

3、用不含油和水的壓縮空氣清理備用石墨電極表面和孔內螺紋;避免用鋼絲團或金屬刷砂布清理。

4、將接頭小心地旋入備用石墨電極一端(不建議將接頭直接裝入爐上撤換下來的電極)的電極孔內，不得碰撞螺紋。

5、將電極吊具(建議采用石墨材質的吊具)擰入備用電極另一端的電極孔內。

6、起吊電極時，墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面，以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環后吊起，吊運電極要平穩，防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。

由于高純石墨坩堝具有良好的熱導性和耐高溫性能，在高溫使用中，熱膨脹系數小，對急熱、急冷具有一定的抗應變能力，對酸堿性溶劑的抗腐蝕性能較強，具有良好的化學穩定性。高純石墨坩堝應用范圍十分廣泛，主要應用于熔煉各種銀、鋁、鉛、銅、鋅等有色金屬及中碳鋼和稀有金屬。高純石墨坩堝質量穩定，碳氈價格，使用壽命長，大幅度降低了燃耗，降低了人工勞動強度，提高了人工勞動強度，創造了更好的經濟效益。

石墨舟推舟系統：石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統：即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。