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　對于金屬內襯泵則將前面剛擰緊的螺母放松半圈。再將調整螺栓上前面的螺母擰緊，使軸承組件后移，此時葉輪與前護板間隙在0.5-1毫米，對于橡膠內襯泵通過擰調整螺栓上的螺母，使軸承組件先向前移動，使葉輪與前護套接觸，在使軸承組件向后移動，使葉輪與后護套接觸，測出軸承組件總水環真空泵的移動距離，取此距離一般作為葉輪與前后護套的間隙，再用調整螺栓調節軸承組件的位置，保證葉輪與前后護套的正確間隙值。調整后，在再次啟動前，須重新檢查葉輪轉動是否正常，軸承組建壓緊螺栓與調整螺栓是否擰緊，然后再啟動水環真空泵。

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　加強管路及各連接處的安裝，是對水環式真空泵的幫助，這是它得以實現穩定運行的標志，也是通過這些細小的安裝工作，才真正體現出真空泵的使用度，通過運行平穩的證實，也就說明正確的安裝及良好的密封性，更加為生產過程增添了有利因素。

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。

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