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              真空檢漏設(shè)備服務(wù)放心可靠 銳誠(chéng)真空

              發(fā)布時(shí)間:2020-10-30 05:08  

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              視頻作者:深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司






              真空設(shè)備氦檢漏

              深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn),為您解決后顧之憂,歡迎您撥打電話~~~以上就是關(guān)于真空泵真空設(shè)備檢漏維修的相關(guān)內(nèi)容介紹,如有需求,歡迎撥打圖片上的熱線電話。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

              真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備

              (1)工作原理與結(jié)構(gòu)

                 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

                 ①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

                 現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例.介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

                 在質(zhì)譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器;由抑制柵、收集極及高阻組成收集器;級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。。

                 在離化室N內(nèi),氣體電離成正離子,在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下,具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng),其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。

                 可見(jiàn),當(dāng)B和U為定值時(shí),不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的,調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過(guò)出口縫隙S2,到達(dá)收集器D,形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái);而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2,所以被分離出來(lái)。絕dui壓力表示讀數(shù)是絕dui值,即讀數(shù)愈靠近‘0',真空度愈高。(me-1)2=4,即He 的質(zhì)荷比,除He 之外,C卅很少,可忽略。

                 ②雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

                由于兩次分析,減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且,如在兩個(gè)分析器的中間,即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場(chǎng),使離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子,雖然可以通過(guò)個(gè)分析器,但是,經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后,由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來(lái)。由于二次分離,儀器本底及本底噪聲顯著地減小,提高了儀器靈敏度。

                 ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

                 逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如,多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102;對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4~106。檢漏時(shí),通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣,仍有部分返流到質(zhì)譜室中去,并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。抽氣速率在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

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              真空設(shè)備檢漏

              深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。2)抽氣量:無(wú)油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問(wèn)題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

              檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過(guò)漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達(dá)到檢測(cè)的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過(guò)程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最jia工作真空度。


              氦質(zhì)譜檢漏儀吸嘴法

              用于真空殘余氣體分析的質(zhì)譜儀都可以用來(lái)檢漏(其示漏物質(zhì)有氫、氦、ya等),但檢漏靈敏度各不相同。專門(mén)用來(lái)檢漏的質(zhì)譜儀叫質(zhì)譜檢漏儀。其特點(diǎn)是靈敏度高,性能穩(wěn)定。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。特別是用氦做示漏氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀,是真空檢漏中靈敏度gao、用得普遍的一種檢漏儀器。

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