多功能化學氣相沉積信賴推薦

　　手機納米膜真空設備系統的簡單介紹

　　(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

　　(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

鍍膜制造需要部分耗材1.SIO2顆粒或環狀(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根據機臺配置選用。2.TIO2顆粒。3.晶振片Filtex 6MHZ或INFICON6MHZ。4.監控片BK7 Φ142*80*1.8mm,需要根據機臺配置選用。5.銅坩堝,需要根據機臺配置選用。優良的防潮、防化學品和耐溶劑性能優良的介電絕緣性能、微米級的精密制作、極薄的膜層仍具極優的電性能、物理機械性能和防腐蝕功能。6.鋁箔厚度0.05mm*寬610mm。7.電子槍燈絲,需要根據機臺配置選用。8.離子源,需要根據機臺配置選用耗材。

物理氣相沉積技術具有膜/基結合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩定的合金膜和重復性好等優點。同時，物理氣相沉積技術由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為終的處理工藝用于高速鋼和硬質合金類的薄膜刀具上。氟化物：氟化釹NbF3,BaF2，氟化CeF3，氟化鎂MgF2，LaF3，氟化釔YF3，氟化鐿YbF3，氟化鉺ErF3等高純氟化物。由于采用物理氣相沉積工藝可大幅度提高刀具的切削性能，人們在競相開發、高可靠性設備的同時，也對其應用領域的擴展，尤其是在高速鋼、硬質合金和陶瓷類刀具中的應用進行了更加深入的研究。