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發(fā)布時間:2021-06-22 03:58  
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率,電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān),由此測量流專量。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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質(zhì)量流量控制器原理
質(zhì)量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質(zhì)量流量控制器采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進行準確測量。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。1,此時自然對流換熱與由于流體運動所導致的受迫對流換熱相比十分微弱。質(zhì)量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監(jiān)測、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保等各種工業(yè)企業(yè)的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質(zhì)量流量或?qū)嶋H工況的體積流量測量和監(jiān)控。
質(zhì)量流量計工作原理
質(zhì)量流量計是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。質(zhì)量流量計是一個較為準確、快速、可靠、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表,在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應用,相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低,壓力損失小等優(yōu)點,且易清洗、具備自排空功能。但是,質(zhì)量流量控制器,是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分,還帶有-個電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成-個閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流,或者計算機、PLC 提供。
流量控制器
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC,當顯示值為80%時,實際的流量為40SCCM。舉個例子,容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配,使用時顯示值即是流量值,很直觀,符合習慣,為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。