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發布時間:2020-10-28 16:35  
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氦質譜檢漏儀
設備是產生、改善并維持真空的裝置,包括真空應用設備及真空獲得設備。真空系統設備的真空系統是核心,主要由真空獲得、真空測量、真空腔體(或容器)以及控制輔助等部件(如真空閥門、管道等)。其在使用過程中如果真空度達不到或者達到真空度速度慢都會影響企業的生產效
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氦質譜檢漏儀逆擴散原理
電子元器件進密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中,再將檢漏罐聯接到檢漏儀的檢漏口上,對檢漏罐抽真空,實施檢漏。若器件有漏,則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐,終到達質譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率
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廣泛應用電廠汽輪機管路及冷凝器檢漏,亦應用于真空焊接爐、真空滲碳爐等熱處理爐檢漏和高壓真空斷路器檢漏,及汽車工業檢漏、燃料電池檢漏和消防器材檢漏等多種真空檢漏領域。另外半導體行業, 燈具制造行業, 制冷、空調行業, 鍍膜行業也有氦質譜檢漏儀的應用。進口起動壓力高達 25 mbar,進氣口處對氦氣的抽速達 2.5 l/s ,可檢測漏率:真空模式:5X10-12 mbar l/s (5X10-13 pa m3/s);