塘沽芯片廠凈化車間裝修常用指南「在線咨詢」

室內(nèi)面積達(dá)24m2,其工作潔凈度達(dá)1000級(jí)

室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級(jí),在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級(jí)。室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過(guò)濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了獨(dú)立的對(duì)外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染。空調(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

靜電式凈化方式工作原理

靜電式凈化方式工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過(guò)電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國(guó)市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。

一個(gè)普通的無(wú)塵凈化車間,會(huì)涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調(diào)與通

一個(gè)普通的無(wú)塵凈化車間，會(huì)涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、自動(dòng)化控制系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)、工藝管道系統(tǒng)等工程。無(wú)菌車間比普通的無(wú)塵凈化車間會(huì)更復(fù)雜，需要考量的因素更多。普通的凈化工程公司，難以良好完成無(wú)菌GMP凈化工程建設(shè)，建議選擇的公司來(lái)承建。無(wú)菌檢測(cè)界定是規(guī)定沒(méi)有活物微生物的存在，無(wú)菌車間產(chǎn)成品生產(chǎn)加工制造全過(guò)程中必須采用各種各樣方式來(lái)除去工藝品中存在的微生物和避免工藝品遭受微生物的環(huán)境污染。

潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門

潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門，設(shè)計(jì)為彈簧門，應(yīng)以鋁合金制作，要達(dá)到密封和易潔凈的要求。手術(shù)室及潔凈輔助用房的外窗必須是雙層密閉窗。 外窗框與墻體之間的縫隙在室內(nèi)即正壓面采用硅酮膠封閉，傳遞窗窗框與墻體的縫隙在墻體兩側(cè)用硅酮膠封閉，傳遞窗兩側(cè)的門扇要具有聯(lián)鎖裝置。門框與門扇的縫隙周邊連續(xù)敷設(shè)彈性密封條，使門關(guān)閉后形成密閉的密封線。