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              發(fā)布時(shí)間:2020-08-20 05:10  

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              鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響 :

              靶功率;真空鍍膜之多弧離子鍍:多弧離子鍍又稱電弧離子鍍或陰極離子鍍是以鍍膜材料為陰極,陽極和真空室相連,陰極和陽極分別接到低壓大電流直流電源的負(fù)極和正極。磁控濺射本身粒子初始動(dòng)能比較小,離化率低,電源功率越大,濺射出的粒子的初始能量越大,靶材濺射量也越大,沉積速率越快,膜層容易上厚度和硬度,同時(shí)工件溫升也大,過高的功率會使沉積速率太快,粒子來不及表面遷移和擴(kuò)散,易形成陰影效應(yīng),膜層會比較疏松,應(yīng)力較大。

              烘烤溫度:真空室抽氣時(shí)烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空氣和水氣,這是保證膜色調(diào)純正的重要因素之一。要注意的是,我們的設(shè)備一般采用加熱棒烘烤,以熱電偶測溫,熱電偶的感溫端位置不能靠近發(fā)熱棒,否則不能反映爐內(nèi)環(huán)境和工件的實(shí)際溫度。

              離子轟擊:指利用高能高密度的金屬離子流和ya離子流對工件進(jìn)行離子轟擊清洗,能有效去除工件表面的氧化物;但需注意工件溫升過熱退火和轟出表面缺陷。


              物理q相沉積法真空鍍膜技術(shù)(由于這種方法基本上都是處于真空環(huán)境下進(jìn)行的,因此稱它們?yōu)檎婵斟兡ぜ夹g(shù))。真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù),是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。

              真空鍍膜技術(shù)是使置待鍍金屬和被鍍塑料制品位于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使金屬蒸發(fā)或升華,金屬蒸汽遇到冷的塑料制品表面凝聚成金屬薄膜。雖然化學(xué)汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。

              濺射鍍膜原理:

              濺射鍍膜是利用濺射現(xiàn)象來達(dá)到制取各種薄膜的目的,即在真空室中利用荷能離子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子在基底上沉積的技術(shù)。輝光放電是在10-2Pa-10Pa真空度范圍內(nèi),在兩個(gè)電極之間加上高壓時(shí)產(chǎn)生的放電現(xiàn)象。在反應(yīng)濺射系統(tǒng)中,一般都加入Ar加速反應(yīng)速度,即提高濺射速率。它是離子濺射鍍膜的基礎(chǔ),即離子濺射鍍膜中的入射離子一般利用氣體放電法得到。


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