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              合肥四氟化碳價(jià)錢-純度高 安徽譜純安全可靠

              發(fā)布時(shí)間:2021-08-04 20:34  

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              四氟化碳物理性質(zhì) :

                 熔點(diǎn)-183.6℃,

                 分子式是CF4,

                沸點(diǎn)-128.1℃,

                液體密度(-130℃)1.613g/cm3,

                液體折光率(-173℃)1.515,

                固體轉(zhuǎn)變點(diǎn)72.2K,

                臨界溫度-45.67℃,

                臨界壓力3.73MPa,

                 蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa

                介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006

                臨界密度:7.1dm3/mol

                標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能:-929.84 kJ/mol

                標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol

                 危險(xiǎn)性類別:第2.2類不燃?xì)怏w




              反應(yīng)放熱后,氟開(kāi)始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng),通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼猓狗磻?yīng)繼續(xù)進(jìn)行,生成氣體通過(guò)液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化。四氟化碳有時(shí)會(huì)用作低溫冷卻劑。它可用于電路板的制造,以及制造絕緣物質(zhì)和半導(dǎo)體。它是用作氣體蝕刻劑及等離子體蝕刻版。對(duì)于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。





              隨著芯片制程向7納米邁進(jìn),細(xì)微雜質(zhì)對(duì)芯片的損害更為明顯,電子產(chǎn)業(yè)對(duì)高純電子氣體的純度要求進(jìn)一步提高,在此背景下,我國(guó)高純四氟化碳生產(chǎn)技術(shù)與產(chǎn)品質(zhì)量仍有提升空間。四氟化碳貯存注意事項(xiàng):氣瓶使用和檢驗(yàn)遵照《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。氣瓶?jī)?nèi)的氣體不能全部用盡,應(yīng)該留不小于0.04MPa剩余壓力。我國(guó)人工智能、物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)仍在不斷擴(kuò)大,光伏發(fā)電累計(jì)裝機(jī)容量不斷上升,預(yù)計(jì)2020-2025年,我國(guó)高純四氟化碳市場(chǎng)需求將繼續(xù)以10.0%以上的增速增長(zhǎng)。


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