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發布時間:2021-01-09 15:29  
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硅烷偶聯劑價格在電子工藝中的應用
硅烷已成為半導體微電子工藝中使用的的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。
硅烷的微電子應用還在向縱深發展: 低溫外延、選擇外延、異質外延。不僅用于硅器件和硅集成電路,也用于化合物半導體器件(碳化硅等)。在超晶格阱材料制備中也有應用。可以說現代幾乎所有先進的集成電路的生產線都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關系極大,更高的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。Y中所帶的基團很容易和有機聚合物中的官能團反應,從而可以使硅烷偶聯劑與有機高分子基料連接。
硅烷偶聯劑價格處理的工序
硅烷表面處理劑可采用以下兩種方法對金屬表面改性:
(1) 浸漬硅烷化法
通過有機硅烷的特殊結構,金屬工件經硅烷處理后,硅烷偶聯劑價格表面會吸附一層類似于磷化晶體的三維網狀結構的超薄有機納米膜(50~500nm),同時在界面形成結合力很強的Si-O-Me共價鍵(其中Me為金屬),硅烷偶聯劑價格可將金屬表面和涂層偶合,具有很好的附著力。采用電化學阻抗測試(EIS)研究了鋁合金膜層的耐蝕性及自愈性,發現在膜層具有自愈性能,掃描振蕩電極技術(SVET)測試結果也進一步證實了膜層的自愈性。
工藝流程:
脫脂→水洗→壓縮空氣吹干金屬表面→浸漬于硅烷溶液中→晾干
(2) 電沉積硅烷化法
優化硅烷化金屬表面處理技術,根據電沉積理論,陰極電位下金屬表面發生O2或H2O的去極化生成OH-,而OH-的生成促進了硅醇間的縮合反應,有利于硅烷膜的形成。
脫脂→水洗→壓縮空氣吹干金屬表面→硅烷溶液電沉積→ 晾干
由此可見,硅烷化處理可省去表調及磷化前后的水洗工序,處理時間大大縮短,減少了污水處理量。
硅烷偶聯劑價格的結構與性質
硅烷偶聯劑是一類分子同時含有兩種不同化學性質基團的特殊結構的有機硅化合物,可用以下通式表示:
Y-R-SiX3
硅烷偶聯劑價格式中:Y-R為非水解基團,X3為可水解基團。Y是可以和有機化合物起反應的基團(如乙烯基、氨基、環氧基、疊氮基等),R是短鏈亞(也稱短鏈烷撐基)通過它把Y與Si原子連接起來;美國邁圖(MOMENTIVE)是全球首家也是目前規模較大的硅烷偶聯劑生產商,硅烷偶聯劑價格生產工廠在美國、日本和意大利。X是可以進行水解反應,并生成Si-OH的基團,一般的硅烷偶聯劑是含有三個可水解的基團。
Y與X是兩類反應特性不同的活性基團。Y中所帶的基團很容易和有機聚合物中的官能團反應,從而可以使硅烷偶聯劑與有機高分子基料連接。當X活性基團水解時,使Si-X能化為Si-OH,而Si-OH與被處理的硅微粉表面的OH形成氫鍵,同時進行加熱,產生縮合脫水反應,形成其價鍵結合。由此通過硅烷偶聯劑可將硅微粉體料與有機高分子材料之間產生一種良好的界面結合,使兩者可緊密的結合到一起。剩下的兩個Si-OH或者與其它硅烷偶聯劑中的Si-OH縮合,或者保持游離狀態。
在硅烷偶聯劑這兩類互異的基團中,以Y基團為重要,硅烷偶聯劑價格它對有機高分子制品的性能影響很大,起決定偶聯劑性能的作用。只有當Y基團能和對應的有機高分子材料起很好的反應效果,才能使其基材的性能得到提高。
一般要求Y基團要與有機高分子材料能很好的相溶,并能起到偶聯的作用。所以對不同的有機高分子材料應考慮選擇適當的Y基團硅烷偶聯劑。