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              大樣片離子束刻蝕機(jī)品牌價(jià)格合理 創(chuàng)世威納科技公司

              發(fā)布時(shí)間:2020-12-16 09:55  

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              離子束刻蝕速率

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              刻蝕速率是指單位時(shí)間內(nèi)離子從材料表面刻蝕去除的材料厚度,單位通常為A/minnm/min.刻蝕速率與諸多因素有關(guān),包括離子能量、束流密度、離子入射方向、材料溫度及成分、氣體與材料化學(xué)反應(yīng)狀態(tài)及速率、刻蝕生成物、物理與化學(xué)功能強(qiáng)度配比、材料種類、電子中和程度等。










              影響離子束刻蝕的因素

              影響刻蝕效果的因素很多,還有諸如離子刻蝕的二次效應(yīng)、光刻膠掩模圖形的形狀和厚度、源靶距效應(yīng)、離子刻蝕弓起的材料損傷及溫度效應(yīng)等。

              創(chuàng)世威納——專業(yè)生產(chǎn)、銷售離子束刻蝕機(jī)產(chǎn)品,我們公司堅(jiān)持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠(chéng)為本,講求信譽(yù),以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。










              離子束刻蝕機(jī)

              離子束分析具有一定能量的離子與物質(zhì)相互作用會(huì)使其發(fā)射電子、光子、X射線等,還可能發(fā)生彈性散射、非彈性散射以及核反應(yīng),產(chǎn)生反彈離子、反沖核、γ射線、氫核、氚核、粒子等核反應(yīng)產(chǎn)物,可以提供有關(guān)該物質(zhì)的組分、結(jié)構(gòu)和狀態(tài)等信息。利用這些信息來(lái)分析樣品統(tǒng)稱離子束分析。在離子束分析方法中,比較成熟的有背散射分析X射線熒光分析、核反應(yīng)分析和溝道效應(yīng)(見溝道效應(yīng)和阻塞效應(yīng))與其他分析相結(jié)合的分析方法等。此外,利用低能離子束還可作表面成分分析,如離子散射譜(ZSS)、次級(jí)離子質(zhì)譜(SZMS)等。超靈敏質(zhì)譜(質(zhì)譜)、帶電粒子活化分析、離子激發(fā)光譜、離子激發(fā)俄歇電子譜等正在發(fā)展中。用于離子束分析的MV級(jí)已有專門的商業(yè)化設(shè)備。










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