莆田氦檢漏系統擇優推薦 博為光電性能穩定

真空箱氦檢漏及回收系統設計關鍵技術

（1）氦氣充注及回收設計：首先、務必保證安全問題，因為涉及到高壓氣體因此儲氣罐務必設置安全閥及壓力適時檢測裝置，保證壓力容器安全。第二、壓力管道務必密封良好，防止充氣及回收過程中空氣混入到系統中，造成氦氣純度下降。第三、需要有氦氣濃度檢測裝置，保證在氦氣壓力及純度達不到要求時，補充新鮮的氦氣。第四、具備慮油裝置，防止氦氣增壓泵以及真空泵中的油蒸汽進入氣罐，污染系統。

（2）抽空系統設計：抽空系統設計應本著適度、夠用、滿足需求原則。系統冗余過大，會導致制造成本偏高，也不離于節能環保。

背壓法氦質譜檢漏

采用背壓法檢漏時，首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中，浸泡數小時或數天，如果被檢產品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中，使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。

背壓法的優點是檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。

背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏主要應用于各種電子元器件產品檢漏

真空設備制造過程中的檢漏

在設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對于制造完畢后無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊并重新檢漏，符合要求后才可以進行下一道工序。特別是對于大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，好首先組焊完內層室壁并檢漏，確認沒有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏，然后才能包覆外層結構。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經焊后加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從而導致法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規范，對于提高真空設備和系統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經去油清洗并及時保護將有利于提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封面，應該具有保護措施，嚴防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏后被損壞而產生漏孔。