合肥真空氦檢漏系統量大從優 博為光電精度高

真空箱氦檢漏及回收系統基本原理

采用背壓法對被檢工件進行漏率檢測，并對氦氣進行回收利用。首先對被檢工件放入真空箱內，充入一定壓強的氮氣，作耐壓測試，通過保壓判斷壓降確定是否有大漏；然后對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，真空箱與檢漏儀的檢漏口相接，若被檢工件有泄漏，則漏入真空箱的氦氣可通過檢漏儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實現氦氣的充注和回收。

為滿足工業現場快節奏檢測節拍、充分利用資源、節約設備制造成本。系統采用雙工位設計，系統原理簡圖如圖一所示，兩個工位共用一套粗抽機組、精抽機組、檢漏儀、耐壓測試單元、工件抽空單元、氦氣充注及回收單元。兩個工位可交替執行不同工藝流程，比如一個工位在檢漏時，另一個工位可執行抽空、檢漏等步序。根據此原理。

選擇氦氣作為示蹤氣體：用氦氣作示蹤氣體的質譜檢漏儀，是示蹤氣體檢漏中靈敏度高，使用普遍的一種檢漏儀器。

（1）He是一種標準元素，原子質量數為4，在質譜室內能與相鄰物質很好的分離

（2）空氣中He的本底濃度非常低-5ppm，使得本底噪聲信號小.

（3）無毒,非可燃性氣體。

（4）惰性氣體，不易發生化學反應。

（5）氦氣可以存儲在各種尺寸的圓筒容器內，并且高純度能夠滿足為苛刻的要求。

氦檢漏法

氦質譜檢漏法是采用氦氣作為示漏氣體，由于氦氣的荷質比小，在檢漏過程中不受其它氣體的干擾，因此，它是一種反應靈敏，能檢出極微小漏孔的選擇性檢漏方法。它的小可檢漏率為10-12Pa.m3.s-1。

運用質譜原理制成的儀器稱為質譜儀。質譜儀原理是：通過其部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同荷質比的離子在場中彼此分開，而相同荷質比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接受器接受所有這些離子，就會得到按照荷質比大小，依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。專門設計的把氦示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。氦質譜檢漏儀的原理是，當一個帶電質點(正離子)以一定速度V進入均勻磁場的分析器中后，如果速度V的方向和磁場H的方向相垂直，它的運動軌跡為圓，不同質合比(m/e)的粒子在磁場中有相應的運動軌跡，這樣，不同荷質比的帶電粒子在磁場運動后會分開，如果在粒子運動路徑中安裝一塊擋板將其他粒子擋掉，而在氦粒子的運動路徑開一個狹縫而被接收極接收形成氦離子流。并經過放大器放大而被測量儀指示出來。檢漏時，氦氣進入檢漏儀氦質譜室中，使儀器發生靈敏的反應，產生檢漏的作用。

由于空氣中氦氣，氦質譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測出極為弱小的訊號，從而檢出的漏孔;由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質量輕，擴散快，穿透性強，響應快且穩定，加之不起化學作用，不污染工件，操作安全等特點，導致使用氦質譜檢漏儀技術(簡稱氦檢技術)日益受到重視而被廣泛應用在空調兩器生產上。

不同真空范圍內的抽氣時間計算

高真空-超高真空領域的抽氣時間計算

這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領域，要充分考慮容器壁以及容器內物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領域不同。

p(t)———到達壓強；

Se———實際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內部放出氣體量；

p0———初期壓強。

氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據當時的放氣量來求得到達的真空度。如果計算結果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據新假設時間的氣體放出量再次計算。不斷重復，終讓p(t)在所需的真空范圍內。

高真空領域的抽氣時間計算遠比低真空領域復雜。真空腔體的內表面經過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。

真空腔體內的部件形狀和材質也極大地影響到達的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數量級。內部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側面開一個出氣孔。因此，內部構造越復雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設計上就更需要經驗。