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熱風循環烘箱——烘箱安全操作規程

1.烘箱要按照銘牌上所規定的溫度范圍使用，烘箱必須保持接地良好。

2.烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉紗、布屑等易l燃物品，不得在烘箱旁進行洗滌、刮漆和噴漆等工作。

3.要防止其他物件落入烘箱底部與電阻絲接觸造成短路。

4.打開烘箱前，必須先斷電。加溫過程中操不得離開。

5.不得在烘箱內存放物品，如工具，器材零件及油料揮發物。

熱風循環烘箱的配置

一、概述

熱風循環烘箱又名電熱鼓風干燥箱（以下簡稱干燥箱）,是SY841型的升級型,更注重產品的節能性和安全性，采用國家經委重點推廣的節能環保加熱新技術，當它被加熱物體吸收時可直接轉變為熱能，從而獲得快速干燥效果，達到縮短生產周期，節約能源，提高產品質量等目的。使用方便、效果顯著，是一種理想的有廣闊前景的干燥設備。適用于工農業，醫l療衛生，塑料機械，大專院校和科研部門的生產車間或實驗室。溫度控制采用智能程序溫控儀控溫，PID參數自整定，固態繼電器調功率，無觸點連續調節，自動完成烘干全過程，能滿足任何固化曲線的要求，操作簡便，性能可靠。

二、結構

干燥箱箱體由角鋼、薄鋼板制成。外殼與工作室間填充玻璃纖維保溫。加熱系統裝置在工作室的頂部。裝有鼓風的本型烘干箱能有效的避免工作室內存在的梯度溫差及溫度過沖現象，且能提高工作室內的溫度均勻性。

熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的?？鞠浞譃榈蜏兀?-250度)、中溫250-600度)、高溫(600-1500度）超過1200度公司建議采用碳硅棒加熱，完全可以根據產品的工藝要求選擇。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。熱風循環烘箱概述熱風循環烘箱干燥箱溫度從10℃至300℃可任意調節選定工作溫度,并借助箱內溫控系統自動恒溫。