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發布時間:2021-01-04 15:48  
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實驗室氣體的危險性
1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害;
2.多種氣體在同一個環境下使用,如果有兩種會發生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害;
3.多數氣瓶出口壓力1高可達15MPa,即150公斤/cm2,如果發生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。
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氦質譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發展,氦質譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢漏儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業,綜觀1新氦質譜檢漏儀的性能特點發現,氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大地1推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。在測定放1射性物質時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0。
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小流量氣體凈化系統
高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。漏孔堵塞現象:指由于真空檢漏作業操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。
氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。
氣體配比儀采用質量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
高純氣體的輸送管路系統
隨著微電子工業的發展,超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高,對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在最1佳工作狀態下能檢出的最1小漏率。