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氦質譜檢漏儀的日常保養與維護

以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內容，深圳銳誠真空專業生產氦檢漏設備，歡迎新老客戶蒞臨。

質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用，但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障和現象，從而影響設備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內部的泄漏

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩定

1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。

3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。

4 設備的質譜室不能正常工作

質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度在 10至 40之間使用。

真空檢漏中三通的應用

深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備，我們為您分析該產品的以下信息。

氦質譜檢漏儀進行檢漏工作中，經常用到真空三通，真空三通作為一種管道配件，它可用于管道的分支和匯合。通俗得講，就是能將一條管道里的水進行分流，讓它分為兩條水流，也能將兩條管道的水流匯集在一起，變成一條水流。

真空三通不易腐蝕，擁有良好的抗沖擊性、抗凍性強而且抗老化，所以使用壽命很長，可達60年之久。此外真空三通質量輕而且連接方便，再加上它阻力少耐磨性強，在工程中使用可以節省大量成本，而且環保。真空三通適合于閥芯直徑大的場合,尤其是制作通流量較大的中低壓三通旋塞。在船舶甲板機械等通流量大的中低壓液壓系統中，真空三通也被廣泛使用。

真空三通多用直接在鋼管上接出支管，先在鋼管上用開孔機和開孔，再將機械三通卡幾個在孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，真空三通用在直接在鋼管上接出支管。

首先在鋼管上用開孔機開孔，后將機械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，機械三通分絲接與溝槽式兩種：正真空三通指支管與主管成90度的三通。

真空三通用在直接在鋼管接出支管。首先鋼管用開孔機開孔，后將機械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封。機械三通分絲接與溝槽式兩種，正三通指的是支管和主管成90度的三通。

真空法氦質譜檢漏原理

真空法氦質譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

真空法檢漏有何優點：真空法的優點是檢測靈敏度高，可以定位漏孔，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法檢漏缺點：真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能真實反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。

用途：真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。

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