氮化硅毛坯球的熱等靜壓法成型工藝

氮化硅毛坯球的熱等靜壓法成型工藝

------文章來源：湖州源沁新材料有限公司技術部

與大多數陶瓷制品一樣，氮化硅球也用粉末制造。目前常用的氮化硅毛坯球制造工藝有：反應燒結、熱壓燒結、熱等靜壓燒結等。

在軸承零件生產中，熱等靜壓法目前被認為是制造氮化硅毛坯球最佳工藝，因為該工藝直接適用于密封預成形或燒結生產方法的一部分，能生產出致密度接近100%的材料。

熱等靜壓法工藝流程簡述：

熱等靜壓法是在250MPa的壓力和750℃的溫度下，在氬氣保護氣氛中，將氮化硅材料熱壓2h，制成試樣球。再用玻璃粉末噴射球坯，形成一個多孔的殼體，然后將其置于一個真空的專用爐中加熱，從材料中除去被束縛住的空氣，并使玻璃熔化，控制冷卻后，玻璃層變成了密封層。熱壓階段完成后，減小壓力，促使玻璃從球中清除出來。

?氮化硅毛坯球的制造技術對氮化硅陶瓷球的后續加工過程影響很大，毛坯球的尺寸公差及表面質量將決定著陶瓷球最終質量及后期加工成本。

參考資料：

軸承用氮化硅球的制造方法，哈爾濱軸承集團，孫立鈞；中航工業哈爾濱軸承，張桂燕著。