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進口檢漏儀維修

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側，位于隔熱板的上方：檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，氦質譜檢漏儀，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限

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按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體輸送泵包括：1、液環真空泵(水環真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等

檢漏儀的日常維護

離子源維護

在對離子源作維護之前， 必須將檢漏儀的主電源插頭拔下。

（1） 拆卸VHS放大器。將VHS放大器和離子源的電源接頭卸下， 用內六角扳子擰下兩個緊固螺釘， 拆下VHS 放大器，將VHS 放大器頭朝下，放置在清潔處，注意防塵。

（2） 清洗離子源底座。擰下6個螺釘，然后小心地把底座法蘭垂直地提起來，接著用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈模具將離子源開口蓋住。

（3） 取下燈絲。拆下3 個緊固螺釘，取下燈絲。

（4） 拆下收集極。只要將兩個緊固螺釘取下即可。

（5） 換新燈絲和收集極。先將收集極用兩個緊固螺釘固定在離子源座上（ 不要將螺釘擰緊） 。接著將新燈絲的兩個接頭插入接線柱內，此時不要擰緊兩個連接螺釘。

（6） 部件的調整。燈絲織支撐架的兩個安裝面和其支撐座兩個安裝面緊貼上，擰緊緊固螺釘。調節收集極，使燈絲在左右方向位于收集極的中心（收集極開口兩邊應有同樣的圈數） ;繼續調整收集極，使燈絲在垂直方向平行于收集極的開口，且處于開口的中央。擰緊收集極的兩個緊固螺釘。擰緊燈絲的兩個連接螺釘。

（7） 安裝離子源和VHS放大器。仔細檢查離子源的導向塊上不要粘有其他物體，小心地將導向塊慢慢地放入質譜室腔中，均勻擰緊6個螺釘即可。將VHS放大器仔細放在密封面上，均勻擰緊兩個螺釘。然后，將VHS放大器和離子源的電線連接好。VHS 放大器、離子源等部件，對任何形式的污染及灰塵都十分敏感，在維護過程中必須特別注意。