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發(fā)布時(shí)間:2020-08-14 18:49  
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無(wú)塵凈化車(chē)間工程,由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成,它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無(wú)塵凈化車(chē)間空氣灰塵微粒數(shù),調(diào)節(jié)車(chē)間溫度和溫度。) 風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是車(chē)間凈化系統(tǒng)的三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹(shù)脂鋪成。

潔凈廠房的竣工驗(yàn)收合格,并經(jīng)核實(shí)批準(zhǔn)后,按要求進(jìn)行功能驗(yàn)收,功能驗(yàn)收是在“靜態(tài)”進(jìn)行測(cè)試,其主要測(cè)試內(nèi)容如下:
1 檢測(cè)空氣潔凈度等級(jí);
2 生產(chǎn)工藝有要求者,還應(yīng)進(jìn)行微生物測(cè)試或化學(xué)污染物測(cè)試或特殊表面的潔凈度測(cè)試;
3 潔凈室(區(qū))的溫度、相對(duì)濕度的穩(wěn)定性測(cè)試;
4 檢測(cè)自?xún)魰r(shí)間;
5 檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性測(cè)試;
6 測(cè)定照度;
7 測(cè)定噪聲級(jí);
8 需要時(shí),確認(rèn)和記錄氣流形式和換氣次數(shù);
9 其他需要進(jìn)行的其他檢測(cè)項(xiàng)目。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言,無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備,其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格,故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車(chē)及重量的運(yùn)輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品,當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí),也就是使用期已太久,快破了,不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí),也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

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