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氦質譜檢漏儀

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氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。泄漏處的幾何結構、壓力、材料、濕度、溫度以及流量都是影響泄漏表現的因素。

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優勢特點編輯1.采用便攜式設計2.設備外型美觀小巧3.采用液晶觸摸屏設計4.有通訊接口5.可以方便地將檢漏數據輸出使用環境編輯環境溫度：5～35℃相對濕度： <80%供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10AJSJ-242型氦質譜檢漏儀

BW-930C型是一款分體式檢漏儀。設備內芯制造借鑒國外先進技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。

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氦質譜檢漏方法 　根據被檢漏的零件的具體情況采用不同的方法。真空容器或器件常用噴吹法、氦室法和累積法。噴吹法是用噴槍對部分噴氦氣，找出漏孔的位置，但效率較低；氦室法可對大容器檢漏，將部分用氦室罩上充入氦氣,可以找到漏孔的大致范圍,但漏孔位置不能確定。氦室法檢漏效率較高。對于微小漏孔，可采用累積法，即先用氦室對部分充入氦氣，再將檢漏儀節流閥關閉，積累一定時間，打開節流閥，觀察離子流的變化。這樣，檢漏靈敏度可提高1～2個數量級。其他方法還有吸收法、背壓法等。先將系統抽成真空，高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動，火花集中成束形成亮點處即是漏孔位置。對于容積大、放氣量大、漏率大的容器可采用反流檢漏法，即將被檢容器接在真空系統的擴散泵和機械泵之間，利用擴散泵的反流作用，使氦氣反流到質譜室而進行檢漏。