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發布時間:2021-10-18 06:14  
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氦質譜檢漏儀特點
1,氣路設計,提高了對氦的抽速,縮短了清氦本底時間,有效防止氦污染。2,檢漏口配備:定制精密過濾裝置,可有效避免雜物顆粒或銅粉進入儀器內部。3,多模式功能輸入、輸出,輕松連接各種自動化設備。4,機械與電路有效分開,避免了溫度、電磁場等彼此干擾,使檢漏儀運行更加穩定、可靠。5,可檢漏率低,靈敏度高,檢測量程達到11級。
氦質譜檢漏儀的特點
氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀,是只檢測氦的質譜儀,這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。氦質譜檢漏儀要想正常工作,需要真空環境。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動才體現為分子流,氦質譜檢漏儀才能穩定正常工作。
氦質譜檢漏儀的真空系統
氦質譜檢漏儀真空系統一般包括:
1、主泵:一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa,其抽速應導氣載匹配。
2、前級真空泵:一般采用旋片式機械真空泵,在以分子泵為主泵的系統中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa,抽速導主泵匹配。
3、預抽真空泵:一般與前級真空泵共用一個泵,也有預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預抽真空泵大都由用戶自配。
4、冷阱:分子泵型真空系統一般不加冷阱。護散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間,使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室,保持質譜室的清潔,并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。