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發布時間:2021-08-06 12:27  
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概述
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
訂購信息
Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵
EH4200 Industrial
●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000
●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000
EH4200 PFPE*
●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application
●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application
EH4200 Chemical**
●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982
●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935
●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900





化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行,其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦阻尼,由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的顯著增加,因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是:
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。技術數據GV80GV160GV250GV400GV600構造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量(工作容積)91。在某些情況下,粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程,您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵,以確保泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體,當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時,這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時, 您將需要非常熱的泵,是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性,但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品,您需要確??梢?將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。大多數制造商都采用溶劑精煉制程,而這些油則采用獨特的濕法處理制程生產。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程,需要在溫度設上 達到平衡,以確保避免任何冷凝問題, 同時不使腐蝕速度過高。



真空泵是一種較為精密的機械設備,用戶在使用過程中,真空泵抽真空難免出現抽氣量不足或者真空度不高的現象,引起這些現象的原因是很多的。
真空泵真空度降低該怎么辦?
真空泵真空度降低的故障原因:管道密封不嚴,有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環溫度過高(一般不應超過40℃)。
真空泵真空度降低的排除方法:擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調整間隙(一般應為0.15~0.2mm);增加水量并降低進水溫度。