SF6真空箱測漏系統滿意的選擇 北京科儀創新

氦質譜檢漏儀的應用拓展三

（1）電子行業

微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業，儀器、儀表行業

管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業

鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。

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氦質譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。氦質譜檢漏儀的應用拓展三（1）電子行業微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

氦質譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，氦質譜檢漏儀可達1000Pa（一般常規檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染，燈絲壽命長等優點。

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氦氣檢漏

氦質譜檢漏的檢測精度高，可達到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出，從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式：一種是在電池生產的中間環節，即在電池烘干注液之前進行檢漏，電芯在真空箱內充氦氣及檢測，此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達標；另一種是在成品環節檢漏，電芯在箱外充氦，電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內部，然后將電池放入真空箱內進行檢漏。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開來。

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