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無塵室的等級分類及應用標準凈化實驗室施工

其型式可分為二種：

無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，埃隨風向排出室外，一般下流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外并不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易受作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。復合式(MixedType)：復合式是將亂流式及層流式予以復合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，超大規模集成電路生產大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。 次數用完API KEY 超過次數限制

凈化

潔凈實驗室墻體圍護的標準

潔凈實驗室的污染源一般主要是大氣中含塵、含菌、塵粒和微生物以及實驗人員的發塵、實驗設備和實驗操作過程中的產塵等。因此建筑圍護結構質量和建筑施工方法對保持和提高潔凈實驗室的標準具有重要意義。

潔凈實驗室的外圍護結構如門窗、墻板、吊頂板、過濾器、電器燈具等方面要充分考慮其保溫、隔熱、防火、防潮、密閉性能好的要求，做到不產塵、無裂痕、可擦洗、耐潮濕，板縫平齊密封，壓縫條平直縫隙小。地面則力求做到耐磨、耐沖擊、耐火、耐侵蝕性好，不易產生靜電，表面不易附著塵粒。

潔凈實驗室的空氣凈化調節系統

一般情況下，5級、6級潔凈區控制溫度為20℃～24℃，相對濕度為45%～65%;7級、大于7級潔凈區控制溫度為18℃～28℃，相對濕度為50%～65%。對潔凈室溫、濕度無特殊要求時，溫度應控制在18℃～26℃，相對濕度控制在45%～65%。

此外，空氣氣流速度、送風量和新風量要符合凈化室實驗設施和人員的要求。因為凈化實驗室是一個相對獨立密閉的空間，在保持溫度、濕度、空氣流速流量的同時，還要采取措施補償室內排風和保持室內正壓（或負壓）值所需的新鮮空氣量