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發布時間：2021-09-07 20:42
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長方形一體成型腔室
超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經驗及技術。我們根據不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。
1. 腔體常規材質：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；
2. 腔體可根據需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質采用氟橡膠；
3. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制；
4. 腔室內外徹底超聲波清洗，表面清潔；
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統，真空度可進入10-6Pa；
7. 供貨周期：確認方案后5到6周；
以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產長方形一體成型腔室產品，歡迎新老客戶蒞臨。
真空腔體概述
真空設備包含很多組件，如真空腔體，真空密封傳導件，視口設置，真空傳感器，真空顯示表，沉積系統，蒸發源和蒸發材料，濺鍍靶材，等離子刻蝕設備，離子注入設備，真空爐，真空泵，法蘭，閥門和管件等。真空設備常用于脫氣，焊接，制備薄膜涂層，生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。
基板指的是一個大的法蘭適配器，可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置，可連接到真空抽氣系統。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構，一般帶有鉸鏈接口，可連接不需要高真空環境的其他裝置，如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。
輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸，用焊接接頭取代一個真空密封件，可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。
真空腔體制作注意事項
為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。
焊接是真空腔體制作中重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量，通常采用弧焊來完成焊接。弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體，以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
