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凈化工程之“肺“--HEPA過濾器的由來

以確保空氣清潔，使科學(xué)家可以免遭危害。隨后科學(xué)家在約翰斯·滕豪斯所改良的空氣過濾器的基礎(chǔ)上進(jìn)一步的發(fā)展研發(fā)，終于研發(fā)出了HEPA過濾器。這種過濾器不僅可以凈化空氣，還可以去除空氣中的細(xì)菌、病毒、灰塵、花粉、霉菌孢子等粉塵及顆粒物。

早的過濾器為有隔板過濾器,用瓦楞狀鋁箔隔板分隔濾紙。20世紀(jì)70年代之前。

國人那時(shí)開始對這種過濾器結(jié)構(gòu)產(chǎn)生興趣。20世紀(jì)80年代，國內(nèi)多家院所和企業(yè)研制無隔板過濾器；20世紀(jì)90年代，國內(nèi)數(shù)家企業(yè)引進(jìn)國外無隔板過濾器成套生產(chǎn)線。自此,我國慢慢開始發(fā)展自己的過濾器產(chǎn)業(yè).

自以來，過濾器凈化用途已經(jīng)從原來單純的個(gè)人防護(hù)向企業(yè)工作環(huán)境的空氣凈化方面發(fā)展,廣泛應(yīng)用于光電子、半導(dǎo)體。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

掃描時(shí)采樣頭距過濾器面約1英寸（約2. 54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測過程中，若有報(bào)警聲（即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處使用專用膠水堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個(gè)過濾器約為5 min左右，在測試的過程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度。